Sulfur passivation for the formation of Si-terminated Al2O3/SiGe(0 0 1) interfaces - 科研通

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标题	Sulfur passivation for the formation of Si-terminated Al2O3/SiGe(0 0 1) interfaces 相关领域钝化硫黄 X射线光电子能谱成核原子层沉积材料科学铝沉积（地质）化学工程无机化学氧化物氧化铝图层（电子）化学表面改性氧气分析化学（期刊）硫化氧化铝
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.01.123
DOI	10.1016/j.apsusc.2016.01.123 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Kasra Sardashti; Kai-Ting Hu; Kechao Tang; Sang-Wook Park; Hyonwoong Kim; et al 出版日期：2016-01-16
求助人	Tree 在 2025-11-04 13:50:19 发布自江苏，悬赏 10 积分
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