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 Side and Corner Region Non-Uniformities in Grown SiO2 and Their Implications on Current, Capacitance and Breakdown Characteristics 相关领域
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期刊：2024 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) 作者：J. P. Bastos; B. J. O'Sullivan; Y. Higashi; A. Chasin; J. Franco; et al 出版日期：2024-05-17 |
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