Design of Pulsed DC Magnetron Sputtering Power Supply with Adjustable Igniting Voltage

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标题	Design of Pulsed DC Magnetron Sputtering Power Supply with Adjustable Igniting Voltage 相关领域材料科学腔磁控管光电子学脉冲功率脉冲直流溅射沉积高功率脉冲磁控溅射功率（物理）电压溅射电气工程核工程薄膜纳米技术物理工程类量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114778
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114778 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Wenguang Chen; Xiaofeng Wang; Ke Tan; Tianyi Duan; Ruixuan Zhou; et al 出版日期：2025-09-01
求助人	www 在 2025-10-02 17:51:30 发布自湖南，悬赏 10 积分
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