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Design of Pulsed DC Magnetron Sputtering Power Supply with Adjustable Igniting Voltage

材料科学 腔磁控管 光电子学 脉冲功率 脉冲直流 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 功率（物理） 电压 溅射 电气工程 核工程 薄膜 纳米技术 物理 工程类 量子力学
作者
Wenguang Chen,Xiaofeng Wang,Ke Tan,Tianyi Duan,Ruixuan Zhou,Pengcheng Zhang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2025-09-01 卷期号：: 114778-114778
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114778
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