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Calibrated PSCAR stochastic simulation
校准PSCAR随机模拟
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抵抗 极紫外光刻 平版印刷术 校准 材料科学 灵敏度（控制系统） 光刻 计算机科学 光学 纳米技术 光电子学 物理 电子工程 工程类 量子力学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2515183
DOI
10.1117/12.2515183 doi
其它 期刊：
作者：Cong Que Dinh; Seiji Nagahara; Gousuke Shiraishi; Yukie Minekawa; Yuya Kamei; et al
出版日期：2019-03-26
求助人
ln 在 2025-10-27 08:54:00 发布自宁夏，悬赏 20 积分
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