Configuration design for the variable pupil shaping unit of a photolithography machine

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标题	Configuration design for the variable pupil shaping unit of a photolithography machine 光刻机可变光瞳整形单元的结构设计相关领域光刻计算机科学光学轴棱锥缩放软件镜头（地质）算法物理激光器程序设计语言激光束
网址	https://doi.org/10.1364/ao.385352 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1364/ao.385352 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Youbao Zhang; Xiaozhe Ma; Fang Zhang; Huijie Huang 出版日期：2020-03-17
求助人	Alan 在 2025-09-11 16:47:08 发布自上海，悬赏 10 积分
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