Improvement of Mesa-Sidewall Leakage Current Using Benzocyclobuten Sidewall Process in InGaAs/InP MSM Photodetector - 科研通

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标题	Improvement of Mesa-Sidewall Leakage Current Using Benzocyclobuten Sidewall Process in InGaAs/InP MSM Photodetector 利用苯并环丁烯侧墙工艺改善LGA/磷化MSM光探测器台面侧漏电流相关领域钝化光电子学光电探测器材料科学暗电流肖特基势垒电容电介质制作半导体纳米技术电极化学图层（电子）二极管物理化学病理医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.44.2586
DOI	10.1143/jjap.44.2586 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Wei-Yu Chiu; Fan‐Hsiu Huang; Yen-Shian Wu; Don-Ming Lin; Yi-Jen Chan; et al 出版日期：2005-04-01
求助人	gy486 在 2025-09-20 16:09:15 发布自江苏，悬赏 10 积分
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