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标题
Selectively Nitrogen Doped ALD-IGZO TFTs with Extremely High Mobility and Reliability
具有极高迁移率和可靠性的选择性氮掺杂ALD-IGZO薄膜晶体管
相关领域
材料科学 光电子学 氮气 兴奋剂 可靠性(半导体) 纳米技术 有机化学 量子力学 物理 功率(物理) 化学
网址
DOI
10.1021/acsami.3c05678 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Dong-Gyu Kim; Hyuk Choi; Yoon-Seo Kim; Donghyeon Lee; Hye‐Jin Oh; et al
出版日期:2023-06-23
求助人
FFr大师 在 2025-08-25 16:56:10 发布自河北,悬赏 10 积分
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