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Kinetic studies on acidic wet chemical etching of silicon in binary and ternary mixtures of HF, HNO3 and H2SiF6
HF、HNO3和H2SiF6二元和三元混合物中硅的酸性湿法化学腐蚀动力学研究
相关领域
三元运算 蚀刻（微加工） 动能 动力学 硅 化学 扩散 二进制数 物理化学 热力学 分析化学（期刊） 材料科学 有机化学 物理 图层（电子） 量子力学 计算机科学 程序设计语言 算术 数学
网址
https://doi.org/10.1039/d3cp03188h
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1039/d3cp03188h doi
其它 期刊：Physical Chemistry Chemical Physics
作者：Anja Rietig; J. Acker
出版日期：2023-01-01
求助人
yyxyyx 在 2025-08-30 18:32:49 发布，悬赏 10 积分
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