| 标题 |
 Optimization of corner compensations in wet etching of silicon for a MEMS Z-axis accelerometer MEMS Z轴加速度计硅湿法刻蚀中角补偿的优化
相关领域
咬边
微电子机械系统
薄脆饼
蚀刻（微加工）
材料科学
制作
干法蚀刻
平面的
硅
各向同性腐蚀
表面微加工
体微机械加工
基质（水族馆）
光电子学
纳米技术
复合材料
计算机科学
地质学
医学
海洋学
替代医学
计算机图形学（图像）
图层（电子）
病理
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Microelectronic Engineering 作者：S. Kalaiselvi; L. Sujatha; R. Sundar 出版日期：2022-03-18 |
| 求助人 |
ljh
在
2025-08-30 16:13:08 发布，悬赏 10 积分
|
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
爱静静
七月流火
Dean
不安青牛
xjcy
linkman
小青椒
pluto
子车茗
期待未来的自己
ED
顺利的琳
CAOHOU
Meyako
不想干活
风清扬
不配.
小豆包
勤劳的俊驰
飲啖茶食個包
皖公网安备34019202002308
