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 Effect of He diluted plasma on the deposition of flexible low-temperature polycrystalline silicon thin film 氦稀释等离子体对柔性低温多晶硅薄膜沉积的影响
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Jia Liu; Longgang Wang; Chunjuan Tang; Chuanwei Liu; Feng Shan; et al 出版日期：2023-12-29 |
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