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标题
Growth of Ge on silicon-on-insulator wafer by plasma enhanced chemical vapor deposition and fabrication of microline photodetector using the Ge layer
等离子体增强化学气相沉积法在绝缘体上硅晶片上生长锗及利用锗层制作微线光电探测器
相关领域
薄脆饼 化学气相沉积 材料科学 制作 光电子学 绝缘体上的硅 光电探测器 图层（电子） 等离子体 硅 等离子体增强化学气相沉积 绝缘体（电） 纳米技术 物理 医学 病理 量子力学 替代医学
网址
https://doi.org/10.1016/j.mseb.2024.117242
DOI
10.1016/j.mseb.2024.117242 doi
其它 期刊：Materials Science and Engineering B
作者：Vishal Kumar Aggarwal; S. Sengupta; Amaresh Dey; Ankita Ghatak; Barnali Ghosh; et al
出版日期：2024-02-13
求助人
Leon 在 2025-08-28 22:02:09 发布，悬赏 10 积分
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