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Oxygen and Nitrogen Transfer in Furnaces in Crystal Growth of Silicon by Czochralski and Directional Solidification Processes 直拉法和定向凝固法生长硅晶体的炉内氧氮转移
相关领域
杂质
硅
材料科学
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期刊:Materials 作者:Koichi Kakimoto; Xin Liu; Satoshi Nakano 出版日期:2022-03-01 |
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