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  Polishing Performance of Magnetorheological Elastomer Pad for Single-crystal Silicon 单晶硅用磁流变弹性体垫的抛光性能
相关领域
材料科学
抛光
磁流变液
弹性体
硅
复合材料
冶金
结构工程
工程类
阻尼器
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期刊：Journal of Materials Research and Technology 作者：Changsheng Li; Xiaohong Gao; Yufu Zang; Zhaoxiang Chen; Jianjun Ding; et al 出版日期：2025-05-01 |
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