Optimization of Deep Trench Isolation on 0.18μm SOI BCD Technology for Automotive Application

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标题	Optimization of Deep Trench Isolation on 0.18μm SOI BCD Technology for Automotive Application 相关领域绝缘体上的硅汽车工业分离（微生物学）浅沟隔离沟槽计算机科学材料科学汽车工程工程类光电子学硅纳米技术航空航天工程微生物学图层（电子）生物
网址	https://doi.org/10.1109/cstic61820.2024.10532041
DOI	10.1109/cstic61820.2024.10532041 doi
其它	期刊：作者：Siti Aisah Binti Mohd Salleh; Sim Poh Ching 出版日期：2024-03-17
求助人	haha 在 2025-09-26 11:57:53 发布自浙江，悬赏 10 积分
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