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  Atomic-Layer-Deposited Aluminum Oxide Thin Films Probed with X-ray Scattering and Compared to Molecular Dynamics and Density Functional Theory Models 用X射线散射探测原子层沉积氧化铝薄膜并与分子动力学和密度泛函理论模型进行比较
相关领域
无定形固体
材料科学
薄膜
氧化物
铝
散射
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化学物理
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图层（电子）
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化学
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物理
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期刊：ACS Omega 作者：Anthony J. Pugliese; Badri Shyam; Gil M. Repa; Anh Hung Nguyen; Apurva Mehta; et al 出版日期：2022-11-04 |
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