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标题
Atomic-Layer-Deposited Aluminum Oxide Thin Films Probed with X-ray Scattering and Compared to Molecular Dynamics and Density Functional Theory Models
用X射线散射探测原子层沉积氧化铝薄膜并与分子动力学和密度泛函理论模型进行比较
相关领域
无定形固体 材料科学 薄膜 氧化物 铝 散射 分子动力学 电子结构 化学物理 原子层沉积 图层（电子） 结晶学 纳米技术 计算化学 化学 复合材料 光学 冶金 物理
网址
https://doi.org/10.1021/acsomega.2c04402
AI链接 doi.org osti.gov nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.1021/acsomega.2c04402 doi
其它 期刊：ACS Omega
作者：Anthony J. Pugliese; Badri Shyam; Gil M. Repa; Anh Hung Nguyen; Apurva Mehta; et al
出版日期：2022-11-04
求助人
六便士在攒 在 2025-05-25 22:50:13 发布自安徽，悬赏 10 积分
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