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 Effects of ultrasonic amplitude on sapphire ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing by experimental and CFD method 超声振幅对蓝宝石超声振动辅助化学机械抛光的影响
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期刊：Mechanics of Advanced Materials and Structures 作者：Mufang Zhou; Min Zhong; Wenhu Xu 出版日期：2021-11-04 |
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