Design analysis and fabrication of FinFET using 3 nm technology - 科研通

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标题	Design analysis and fabrication of FinFET using 3 nm technology 3纳米FinFET的设计分析与制作相关领域材料科学制作鳍晶体管光电子学 MOSFET 栅氧化层纳米线电容薄脆饼绝缘体上的硅逻辑门场效应晶体管电气工程缩放比例频道（广播）电子工程纳米技术硅工程类电压物理电极医学病理量子力学复合材料数学替代医学几何学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0122967
DOI	10.1063/5.0122967 doi
其它	期刊：AIP conference proceedings 作者：E. Radhamma; B. Balaji; A. Krishna Murthy; R. Purushotham Naik 出版日期：2022-01-01
求助人	koman 在 2025-05-28 23:42:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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