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标题
High-NA EUV lithography: current status and outlook for the future
高NA EUV光刻技术的现状与展望
相关领域
极紫外光刻 平版印刷术 光学 平坦度(宇宙学) 光刻 极端紫外线 数值孔径 图像拼接 浸没式光刻 薄脆饼 下一代光刻 抵抗 材料科学 制作 计量学 光电子学 物理 纳米技术 电子束光刻 激光器 替代医学 图层(电子) 波长 病理 医学 量子力学 宇宙学
网址
DOI
10.35848/1347-4065/ac49fa doi
其它 期刊:Japanese journal of applied physics
作者:Harry Levinson
出版日期:2022-04-20
求助人
宇文天思 在 2024-05-21 00:58:16 发布自北京,悬赏 10 积分
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