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 Deposition of Aluminium Nitride Film by Magnetron Sputtering for Diamond‐Based Surface Acoustic Wave Applications 相关领域
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10.1002/1521-396x(200210)193:3<482::aid-pssa482>3.0.co;2-d
Doi
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| 其它 |
期刊：Physica Status Solidi (a) 作者：V. Mortet; M. Nesladek; J. D’Haen; G. Vanhoyland; O. Elmazria; et al 出版日期：2002-10-01 |
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