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Experimental study of inductively coupled plasma etching of patterned single crystal diamonds
网址
https://doi.org/10.1038/s41598-025-08066-3
DOI
10.1038/s41598-025-08066-3 doi
其它 期刊：Scientific Reports
作者：Lei Zhao; Xiangbing Wang; Nan Jiang; Kazhihito Nishimura; Yi Jian; et al
出版日期：2025-07-01
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xt_489 在 2026-09-10 13:54:19 发布自四川，悬赏 10 积分
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