Simulation Study on Airflow Field Uniformity of HFCVD Deposition System by Filament Spacing

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标题	Simulation Study on Airflow Field Uniformity of HFCVD Deposition System by Filament Spacing
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.3103/S1063457621020...
DOI	10.3103/s1063457621020040 doi
其它	期刊：Journal of Superhard Materials 作者：Fuming Deng; Cen Hao; Zhenhai Guo; Shuang Wang; Xiang Bo; et al 出版日期：2021-07-15
求助人	6S6 在 2026-09-20 16:40:50 发布自江苏，悬赏 10 积分
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Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America (PNAS)

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