Effect of pre-deposition annealing on the performance of MIS capacitor formed using atomic layer deposition of ultrathin - 科研通

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标题	Effect of pre-deposition annealing on the performance of MIS capacitor formed using atomic layer deposition of ultrathin
网址	https://doi.org/10.1063/1.4810649
DOI	10.1063/1.4810649 doi
求助人	项烨霖在 2026-09-11 15:26:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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