Oxygen-based digital etching of AlGaN/GaN structures with AlN as etch-stop layers

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标题	Oxygen-based digital etching of AlGaN/GaN structures with AlN as etch-stop layers
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/1.51154...
DOI	10.1116/1.5115427 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Jingyi Wu; Siqi Lei; Wei-Chih Cheng; Robert Sokolovskij; Qing Wang; et al 出版日期：2019-09-18
求助人	zheng 在 2026-07-09 16:21:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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