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Metalorganic chemical vapor deposition of β-(Al)Ga2O3 on (001) β-Ga2O3 substrates 相关领域
金属有机气相外延
化学气相沉积
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A 作者:Md Mosarof Hossain Sarkar; Dong Su Yu; Kaitian Zhang; Sadikul Alam; Mehidi Hassan; et al 出版日期:2026-05-13 |
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