标题 |
Thin Film Process Technologies for Continued Scaling
连续镀膜的薄膜工艺技术
相关领域
缩放比例
薄膜
计算机科学
过程(计算)
GSM演进的增强数据速率
工程物理
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DOI |
10.1109/edtm.2018.8421524
doi
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其它 |
期刊: 作者:Robert D. Clark; Kandabara Tapily; Kuo-Hui Yu; Takahiro Hakamata; Steven Consiglio; et al 出版日期:2018-03-01 |
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