High-transmission EUV pellicles supporting >400W source power

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标题	High-transmission EUV pellicles supporting >400W source power 支持400W以上电源功率的高透射EUV薄膜相关领域极紫外光刻平版印刷术极端紫外线传输（电信）钥匙（锁）计算机科学节点（物理）功率（物理）材料科学光电子学工程物理纳米技术光学电信物理计算机安全声学激光器量子力学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2614262
DOI	10.1117/12.2614262 doi
其它	期刊：作者：Mark van de Kerkhof; Alexander Klein; Paul Vermeulen; Ties van der Woord; Inci Donmez; et al 出版日期：2022-05-26
求助人	法式千层饼在 2023-08-17 21:39:17 发布自北京，悬赏 10 积分
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