Fundamentals of developer-resist interactions for line-edge roughness and critical dimension control in model 248-nm and 157-nm photoresists

已完结

文献求助详情

标题	Fundamentals of developer-resist interactions for line-edge roughness and critical dimension control in model 248-nm and 157-nm photoresists
网址	https://doi.org/10.1117/12.535862
DOI	10.1117/12.535862 doi
其它	期刊：SPIE Proceedings 作者：Vivek M. Prabhu; Michael X. Wang; Erin L. Jablonski; Bryan D. Vogt; Eric K. Lin; et al 出版日期：2004-06-17
求助人	children 在 2026-03-19 22:48:23 发布自上海，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI6.4上传了应助文件

刚刚; 若菲发布了新的文献求助10

刚刚; 不曾留步完成签到，获得积分10

1秒前; 吃西瓜的鱼发布了新的文献求助10

1秒前; 852的应助被Le采纳，获得10

1秒前; 隐形曼青上传了应助文件

2秒前; 啊萍完成签到，获得积分20

3秒前; 迷路小蚂蚁关闭了迷路小蚂蚁的文献求助

4秒前; 杨桃发布了新的文献求助10

4秒前; 科研通AI2S的应助被夏有凉风采纳，获得10

5秒前; rationality发布了新的文献求助10

5秒前; 听风随影完成签到，获得积分10

5秒前; 科研通AI6.4的应助被施茹嫣采纳，获得10

5秒前; 华仔的应助被pingbaby采纳，获得10

5秒前; 乐观的蜗牛发布了新的文献求助30

6秒前; 潇洒的惋清的应助被pp0118采纳，获得10

6秒前; 李健上传了应助文件

6秒前; 忧心的红牛发布了新的文献求助10

7秒前; 口口发布了新的文献求助10

7秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

9秒前; wang完成签到，获得积分10

9秒前; 在桜花季散步完成签到，获得积分20

10秒前; 时尚的半仙发布了新的文献求助10

10秒前; 小小冯完成签到，获得积分10

12秒前; 香蕉觅云的应助被ccc采纳，获得10

12秒前; 科目三上传了应助文件

12秒前; Kao的应助被luckylucky采纳，获得10

12秒前; 零知识完成签到，获得积分10

13秒前; 周学习的应助被俊逸的小懒猪采纳，获得30

13秒前; 铲屎大王发布了新的文献求助20

13秒前; 田様上传了应助文件

14秒前; niuniu完成签到，获得积分10

14秒前; 852上传了应助文件

15秒前; 夏有凉风发布了新的文献求助10

15秒前; 思源上传了应助文件

16秒前; 赘婿上传了应助文件

16秒前; 向北游完成签到，获得积分10

16秒前; yhgz完成签到，获得积分10

16秒前; Haliwily完成签到，获得积分10

16秒前; rainbow完成签到，获得积分10

17秒前