Spin-coatable Al 2 O 3 resists in electron-beam nanolithography

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标题	Spin-coatable Al 2 O 3 resists in electron-beam nanolithography
网址	https://doi.org/10.1117/12.350248
DOI	10.1117/12.350248 doi
其它	期刊：Advances in Resist Technology and Processing XVI 作者：Will Conley; Mohammad S. Saifullah; Hideo Namatsu; Toru Yamaguchi; Kenji Yamazaki; Kenji Kurihara 出版日期：1999
求助人	樊珩在 2026-05-31 22:47:03 发布自上海，悬赏 20 积分
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