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标题
Sputtering with an etch-free lift-off in thermal nanoimprint lithography
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/28/6/C6M136/9809404...
DOI
10.1116/1.3507879 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
作者：Andre Mayer; Nicolas Bogdanski; Saskia Möllenbeck; Khalid Dhima; Marc Papenheim; Hella-Christin Scheer
出版日期：2010-12-02
求助人
asdasd 在 2026-03-27 17:27:13 发布自山东，悬赏 10 积分
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