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标题
Failure mechanisms of anodized aluminum parts used in chemical vapor deposition chambers
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/14/3/1127/11604919/...
DOI
10.1116/1.580281 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Srihari Ponnekanti; Laxman Murugesh; Eric Hanson
出版日期：2002-07-27
求助人
帅气夜云 在 2026-10-08 10:05:58 发布自上海，悬赏 10 积分
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