A High-Accuracy All-Silicon Resonant Pressure Sensor with Rapid Thermal Response and Corrosion-Resistant Electrode Protection Structure

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标题	A High-Accuracy All-Silicon Resonant Pressure Sensor with Rapid Thermal Response and Corrosion-Resistant Electrode Protection Structure
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11633501/11633534/116338...
DOI	10.1109/nems69704.2026.11633842 doi
其它	期刊：IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems 作者：Xiao-Han Liu; Bowen Tan; Xingyu Li; Bo Xie; Yu-Lan Lu; et al 出版日期：2026-04-01
求助人	wbhseven 在 2026-10-05 18:27:04 发布自江苏，悬赏 10 积分
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