Effects of aging time in hydrogen peroxide-glycine-based Cu CMP slurry

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标题	Effects of aging time in hydrogen peroxide-glycine-based Cu CMP slurry
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980012...
DOI	10.1016/j.mssp.2021.106343 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Juhwan Kim; Donggeon Kwak; Jungjae Park; Takayuki Kubota; Taesung Kim 出版日期：2022-03-01
求助人	闪闪远锋在 2026-10-29 15:36:37 发布自陕西，悬赏 10 积分
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