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标题
Electron temperature and ion density distribution on a vertical section in a weakly magnetized inductively coupled plasma
网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0003874
DOI
10.1116/6.0003874 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：You He; Yi-Lang Jiang; Myoung-Jae Lee; Beom-Jun Seo; Ju-Ho Kim; et al
出版日期：2024-11-05
求助人
xiaoniuma 在 2026-11-03 15:35:42 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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