Impact of material anisotropy on ultrafast laser dicing of SiC wafers for enhancing efficiency and quality

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标题	Impact of material anisotropy on ultrafast laser dicing of SiC wafers for enhancing efficiency and quality
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2024.112358
DOI	10.1016/j.optlastec.2024.112358 doi
其它	期刊：Optics and Laser Technology 作者：Rui Gao; Chunjin Wang; Qixian Zhang; Lingda Xiong; Qingzheng Zhang; et al 出版日期：2024-12-21
求助人	英吉利25 在 2026-11-04 11:22:18 发布自天津，悬赏 10 积分
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