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 High-efficiency wafer-scale finishing of 4H-SiC (0001) surface using chemical-free electrochemical mechanical method with a solid polymer electrolyte 固体聚合物电解质无化学电化学机械法高效晶片级4H-SiC（0001）表面光整
相关领域
材料科学
电解质
表面处理
化学机械平面化
抛光
阳极
电解
薄脆饼
电化学
阴极
化学工程
碳化硅
表面粗糙度
表面光洁度
复合材料
纳米技术
电极
化学
物理化学
工程类
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Che Nor Syahirah Binti Che Zulkifle; Kenshin Hayama; Junji Murata 出版日期：2021-12-01 |
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