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标题
Horizontal Versus Vertical Annealing of Silicon Wafers at High Temperatures
网址
https://www.scientific.net/SSP.131-133.413.pdf
DOI
10.4028/www.scientific.net/ssp.131-133.413 doi
其它 期刊：Solid State Phenomena
作者：G. Kissinger; A. Fischer; G. Ritter; V.D. Akhmetov; Martin Kittler
出版日期：2009-03-16
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爱笑三颜 在 2026-09-17 17:26:43 发布自江苏，悬赏 30 积分
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