Generation mechanism of residual clamping force in a bipolar electrostatic chuck

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标题	Generation mechanism of residual clamping force in a bipolar electrostatic chuck
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/21/6/2371/8207644/2...
DOI	10.1116/1.1620517 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：S. Kanno; T. Usui 出版日期：2003-11-24
求助人	JJBOND 在 2026-09-10 16:46:40 发布自江苏，悬赏 10 积分
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