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标题
Synthesis of diamond/β-SiC composite films by microwave plasma assisted chemical vapor deposition
网址
http://dx.doi.org/10.1063/1.108458
DOI
10.1063/1.108458 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：X. Jiang; C.-P. Klages
出版日期：1992-10-05
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