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![]() 卤素气体等离子体蚀刻银膜
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Toshiyuki Sasaki; Kenichi Yoshikawa; Kazuhito Furumoto; Itsuko Sakai; Hisataka Hayashi; et al 出版日期:2020-08-17 |
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