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标题
Evaluation of the Performance of Published Point Defect Parameter Sets in Cone and Body Phase of a 300 mm Czochralski Silicon Crystal
300 mm直拉硅晶体锥相和体相中已发表的点缺陷参数集的性能评估
相关领域
晶体缺陷 Crystal(编程语言) 微电子 空位缺陷 材料科学 点(几何) 热的 相(物质) 单晶硅 晶体生长 结晶学 热力学 化学 几何学 光电子学 数学 物理 计算机科学 有机化学 程序设计语言
网址
DOI
10.3390/cryst11050460 doi
其它 期刊:Crystals
作者:Andrejs Sabanskis; Matīss Plāte; Andreas Sattler; Alfred Miller; Jānis Virbulis
出版日期:2021-04-22
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科研狗 在 2025-06-08 23:53:24 发布自云南,悬赏 10 积分
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