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 Impact of Ions on Film Conformality and Crystallinity during Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of TiO2 等离子体辅助原子层沉积TiO2过程中离子对薄膜保形和结晶度的影响
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期刊：Chemistry of Materials 作者：Karsten Arts; Harvey Thepass; Marcel A. Verheijen; Riikka L. Puurunen; W. M. M. Kessels; et al 出版日期：2021-04-29 |
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