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A sequential resampling approach for imbalanced batch process fault detection in semiconductor manufacturing 半导体制造中不平衡批处理故障检测的顺序重采样方法
相关领域
过采样
水准点(测量)
故障检测与隔离
批处理
计算机科学
人工神经网络
断层(地质)
过程(计算)
半导体器件制造
重采样
人工智能
自编码
机器学习
模式识别(心理学)
工程类
程序设计语言
电气工程
地震学
薄脆饼
带宽(计算)
执行机构
计算机网络
大地测量学
操作系统
地理
地质学
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期刊:Journal of Intelligent Manufacturing 作者:Yi Zhang; Peng Peng; Chongdang Liu; Yanyan Xu; Heming Zhang 出版日期:2020-11-23 |
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