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 Preparation of Silicon Oxide Films by a Hot-Target Impulse Magnetron Deposition in a Reactive Mixture 相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
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硅
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期刊：Journal of Communications Technology and Electronics 作者：V. Yu. Lisenkov; Maksim M. Kharkov; D. V. Kolodko; Alexander V. Tumarkin; Andrey V. Kaziev 出版日期：2023-11-01 |
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