Development and Optimization of Integrative MEMS-Based Gray-Scale Technology in Silicon for Power MEMS Applications

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标题	Development and Optimization of Integrative MEMS-Based Gray-Scale Technology in Silicon for Power MEMS Applications
网址	https://doi.org/10.21236/ada439033
DOI	10.21236/ada439033 doi
其它	期刊：作者：Reza Ghodssi; Christopher M. Waits; Brian C. Morgan 出版日期：2017-08-12
求助人	陈pc 在 2026-03-29 17:18:04 发布自湖南，悬赏 10 积分
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