发布文献求助
已关闭
  • 文献求助详情
标题
Selective isotropic etching of SiO2 over Si3N4 using NF3/H2 remote plasma and methanol vapor
网址
https://doi.org/10.1038/s41598-023-38359-4
DOI
10.1038/s41598-023-38359-4 doi
其它 期刊：Scientific Reports
作者：Hong Seong Gil; Doo San Kim; Yun Jong Jang; Dea Whan Kim; Hea In Kwon; et al
出版日期：2023
求助人
羽墨 在 2026-06-03 17:42:36 发布自北京，悬赏 10 积分
下载
上个求助
下个求助
提交工单
求助 / 应助时间线

  • 1个月前，求助关闭

    羽墨 羽墨 Lv42 求助人 关闭了本次求助。

    说明 已找到【积分已退回】

  • 1个月前

    羽墨 羽墨 Lv42 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
dap发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
打打的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
啊哈发布了新的文献求助10
2秒前
明亮尔蓝的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
丘比特的应助被科研通管家采纳，获得30
2秒前
CipherSage的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
lucky发布了新的文献求助30
2秒前
今后的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
搜集达人的应助被科研通管家采纳，获得30
2秒前
NexusExplorer的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
Hello的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
田様的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
李健的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
3秒前
Jasper的应助被科研通管家采纳，获得10
3秒前
3秒前
3秒前
3秒前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
3秒前
Albert发布了新的文献求助10
3秒前
沉默小天鹅完成签到，获得积分10
3秒前
舒适的金针菇完成签到，获得积分10
3秒前
NexusExplorer的应助被lll采纳，获得10
3秒前
爆米花的应助被lcj1014采纳，获得10
4秒前
12345完成签到，获得积分20
4秒前
内卷没有赢家完成签到，获得积分10
4秒前
4秒前
汉堡包的应助被八千桂酒采纳，获得10
5秒前
5秒前
xujq发布了新的文献求助10
5秒前
bnm发布了新的文献求助10
5秒前
薛无敌完成签到，获得积分10
5秒前
5秒前
华仔的应助被听听采纳，获得10
6秒前
FashionBoy的应助被jhx采纳，获得10
6秒前
kaiyi发布了新的文献求助10
6秒前
Livy完成签到，获得积分10
6秒前
6秒前
6秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Resistance Spot Welding Dataset for Automobile Body-in-White Quality Analysis 748
日本現代怪異事典 副読本 700
悉尼大学博士学位论文，题目：Modelling and testing of one-sided stitched laminated composites. 作者：Kristopher P. Plain 650
Machine Learning for Asset Management and Pricing 600
Numerical analysis of the coupled atmosphere-ocean models (CAO II). II 600
Models for the coupled atmosphere and ocean 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7388313
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8994839
关于积分的说明 19140241
捐赠科研通 7025196
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3228366
关于科研通互助平台的介绍 2390799
邀请新用户注册赠送积分活动 2209382
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通