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 Feasibility Demonstration of GaN on Si Process for R&D and Manufacturing on Existing 200mm Si-Fab 相关领域
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期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Luisito Livellara; Michele Molgg; Guido Pietrogrande; Selene Colombo; Daria Doria; et al 出版日期：2025-12-11 |
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