3D NAND vertical channel defect inspection and classification solution on a DL-based e-beam system : DI : Defect Inspection and Reduction

已关闭

文献求助详情

标题	3D NAND vertical channel defect inspection and classification solution on a DL-based e-beam system : DI : Defect Inspection and Reduction
网址	https://doi.org/10.1109/asmc54647.2022.9792511
DOI	10.1109/asmc54647.2022.9792511 doi
其它	期刊：2022 33rd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC) 作者：Cheng Hung Wu; Yen Chun Chuan Sun; Rishabh Kushwaha; Piyush Bajpai; Shao Chang Cheng 出版日期：2022
求助人	你嵙这个期刊没买在 2026-05-17 23:07:51 发布自中国香港，悬赏 10 积分
下载

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

4个月前，求助关闭

你嵙这个期刊没买 Lv8 求助人关闭了本次求助。

说明批量关闭【积分已退回】
4个月前

你嵙这个期刊没买 Lv8 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Geopoison完成签到，获得积分10

1秒前; 后撤步发布了新的文献求助10

1秒前; 汉堡包上传了应助文件

1秒前; 雪白水蓉完成签到，获得积分20

2秒前; 小何发布了新的文献求助10

2秒前; Jasper上传了应助文件

2秒前; deepi完成签到，获得积分10

2秒前; li完成签到，获得积分20

2秒前; JamesPei的应助被爱唱狐狸的番茄小子采纳，获得10

3秒前; 求助完成签到，获得积分10

3秒前; 拼搏向上完成签到，获得积分10

3秒前; 星辰大海上传了应助文件

3秒前; san发布了新的文献求助10

4秒前; 文献瓜完成签到，获得积分10

4秒前; 旺旺完成签到，获得积分10

4秒前; CodeCraft上传了应助文件

4秒前; 斯文败类上传了应助文件

4秒前; 传奇3上传了应助文件

5秒前; Owen上传了应助文件

5秒前; 阳光下发布了新的文献求助10

6秒前; 李小葵完成签到，获得积分10

6秒前; 李爱国上传了应助文件

6秒前; 香蕉沛蓝发布了新的文献求助10

6秒前; DW上传了应助文件

6秒前; 两回事发布了新的文献求助10

7秒前; 明理尔阳完成签到，获得积分10

8秒前; yydssss完成签到，获得积分10

8秒前; 瓜子仁发布了新的文献求助10

8秒前; 爆米花的应助被六六采纳，获得10

8秒前; 聪慧的曼bo完成签到，获得积分10

8秒前; xy1114上传了应助文件

8秒前; 团结友爱完成签到，获得积分10

8秒前; 浪花淘尽英雄发布了新的文献求助10

8秒前; tong了一个包子发布了新的文献求助10

9秒前; 杨霄炫发布了新的文献求助30

9秒前; 朴素幼晴完成签到，获得积分10

9秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

9秒前; 威武秋烟发布了新的文献求助10

9秒前; 三石发布了新的文献求助10

10秒前; 香蕉觅云的应助被laola采纳，获得10

10秒前