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Low Temperature, Selective Atomic Layer Deposition of Cobalt Metal Films Using Bis(1,4-di-tert-butyl-1,3-diazadienyl)cobalt and Alkylamine Precursors |
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期刊:Chemistry of Materials 作者:Marissa M. Kerrigan; Joseph P. Klesko; Charles H. Winter 出版日期:2017 |
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(2025-6-4)