Structural, mechanical and tribological properties of ZrC thin films deposited by magnetron sputtering

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标题	Structural, mechanical and tribological properties of ZrC thin films deposited by magnetron sputtering
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X1...
DOI	10.1016/j.vacuum.2019.108909 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Adam Gilewicz; Katarzyna Mydłowska; Jerzy Ratajski; Łukasz Szparaga; Przemysław Bartosik; et al 出版日期：2019-08-29
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